首家采用全自动温补工艺,低温漂陶瓷压力传感器
作者:admin
发布时间:2021-07-03
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压力传感元件无论是采用MEMS,扩散硅,溅射薄膜或者陶瓷厚膜敏感材料,由于材料及工艺制程中各因数的影响,都存在着随温度变化,其零点输出与满量程输出随之变化的现象,其变化的值,折算到信号满量程幅度(Vt/Vspan/t),简称温度0系数,其意义代表温度每变化1°C,所引起的传感器输出变化量,例如0.03%/°C,代表每一度温度影响到精度为0.03%,常规传统做法是采用分选的办法,在产品出来后进行筛选,再分级的方法,无法保障整批产品的温度系数在合格的范围内。
华芯联科技推出业界首创的全自动激光温补工艺,在产品工艺流程上,以在线温度系数测试及主动温补激光调阻系统,在器件级别上推出全系列温度系数低于0.02%/°C的陶瓷压力传感器芯体,填补了国内空白。
我司所生产的温补型陶瓷压力传感器芯体,可在-20°C---+85°C温度范围内,其温度系数低于0.02%/°C,在常规0-50°C范围内低于0.01%/°C,基本可实现“零”温漂功能,大幅度提升了产品性能,并替代同类型进口高端压力传感器,例如METELLUX等品牌。