首家采用全自动温补工艺，低温漂陶瓷压力传感器

压力传感元件无论是采用MEMS，扩散硅，溅射薄膜或者陶瓷厚膜敏感材料，由于材料及工艺制程中各因数的影响，都存在着随温度变化，其零点输出与满量程输出随之变化的现象，其变化的值，折算到信号满量程幅度（Vt/Vspan/t），简称温度0系数，其意义代表温度每变化1°C，所引起的传感器输出变化量，例如0.03%/°C，代表每一度温度影响到精度为0.03%，常规传统做法是采用分选的办法，在产品出来后进行筛选，再分级的方法，无法保障整批产品的温度系数在合格的范围内。

华芯联科技推出业界首创的全自动激光温补工艺，在产品工艺流程上，以在线温度系数测试及主动温补激光调阻系统，在器件级别上推出全系列温度系数低于0.02%/°C的陶瓷压力传感器芯体，填补了国内空白。

我司所生产的温补型陶瓷压力传感器芯体，可在-20°C---+85°C温度范围内，其温度系数低于0.02%/°C，在常规0-50°C范围内低于0.01%/°C，基本可实现“零”温漂功能，大幅度提升了产品性能，并替代同类型进口高端压力传感器，例如METELLUX等品牌。